SAT 401旋涂儀（勻膠機(jī)）

一、應(yīng)用領(lǐng)域

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體，集成電路，材料，微光學(xué)，生命科學(xué)，凝聚態(tài)物理，化學(xué)等科學(xué)研究與生產(chǎn)?？捎糜诠杵?載玻片/化合物鏡片/ITO/導(dǎo)電玻璃等各種基底材料的表面處理和涂覆。

 二、主要特點(diǎn)

1.采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)，數(shù)字式增速信號反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長，保證勻膠均勻。

2.液晶屏+薄膜按鍵控制，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配6組勻膠梯度階段（速度和時(shí)間梯度設(shè)置），每組下可設(shè)置6個勻膠梯度階段。

3.內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，******限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。

4.多重安全保護(hù)雙重安全上蓋，保證實(shí)驗(yàn)人員安全。

5.樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護(hù),有效降低電機(jī)進(jìn)膠風(fēng)險(xiǎn).

6.一機(jī)兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

7.符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤設(shè)計(jì)，取放樣品更方便。

8.旋涂腔體及上蓋采用耐酸堿PP材料,保證儀器在苛刻條件下能正常運(yùn)行.

9.上下雙腔體設(shè)計(jì)，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置。

10適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。

三、技術(shù)參數(shù)

1.轉(zhuǎn)     速：0-10000rpm，可調(diào)可設(shè)定

2.加  速 度：0-10000rpm/s，可調(diào)可設(shè)定

3.減速度：0-10000rpm/s，可調(diào)可設(shè)定

4.轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1％

5.勻 膠 時(shí)間：0-9999s

6.工作艙直徑：直徑180mm

7.基片尺寸：圓片Φ≤6吋，方片≤105x105mm

8.外型尺寸：L245xW325xH285mm

9.包裝尺寸：L365xW445xH405mm

10.整機(jī)重量：7.6Kg

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