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真空等離子清洗機 /

 SAT 510 真空等離子(Plasma)

SAT 510 真空等離子(Plasma)真空等離子清洗機

  • SAT 510是一款常用型號,艙體直徑155mm,適配6寸晶圓,觸摸屏控制,操作簡單直觀,高品質、高性價比.
產品詳細

SAT 510等離子清洗機(Plasma)

應用領域:適用于材料科學、光學、光電子學、生命科學、電子學、生物醫(yī)學、高分子科學、半導體、微觀流體學等領域.                          

主要應用: 1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡單刻蝕 7.去除表面有機物  8.疏水實驗  9.沉積實驗  10.形成新的基團  11.鍍膜前處理等

主要特點:

1.實時檢測和顯示真空度,使得機器在智能控制下有了可靠的依據(jù).

2.真空值可自由設定,(范圍:10—60帕)為外加氣體提供了可靠的輝光啟動環(huán)境,為輝光純度提供了有利的保障,保證了實驗效果的準確性和可靠性.

3.真空腔體采用鉸鏈側開門結構,帶有觀察窗,材料為6061材質.

4.真空腔體、管路、閥體全部為不銹鋼材料.

5.電容式(CCP)激發(fā),實驗效果穩(wěn)定,均勻可靠,電極板置于樣品倉內頂部懸掛.

6.觸摸屏+內置計算機顯示控制,手動自動兩種模式任意切換.

7.程序化設計,預先編輯好程序,儀器自動完成實驗.

8.利用氣體電離后產生的等離子體的反應活性與材料表面發(fā)生的物理或者化學反應,使材料表面成分、組成和結構發(fā)生變化,并能得到某些特定的基團。

9.無需任何耗材,使用成本低,無需特殊進行維護,在日常使用中保持儀器清潔即可。

技術規(guī)格參數(shù)

型號:SAT 510

品牌:賽奧特(SAT)


※不銹鋼腔體

Φ155 mm×L255mm

※射頻頻率

40KHz 

※射頻功率

最高300W,0到300W可調,精度:1瓦,

※輝光放電最低功率

最低輝光放電功率:10W

輝光放電時間設定

1秒到99分59秒

氣路設置

3氣路(兩路進氣,一路放空)

工作氣體穩(wěn)定時間

氣體穩(wěn)定時間:可調整,可設定,范圍:0--180秒

※進氣控制

兩路浮子流量計控制

工作氣體

空氣氮氣氬氣氮氫混合氣氬氦混合氣等均可;

也可接入無腐蝕性、無毒的工作液體溶液,例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO)接入工作液體需要選配接枝儀來配套使用。

進氣壓力

空氣常壓,連接鋼瓶:0.1-0.2Mpa

真空泵

可選機械油泵或者干泵

電  源

~220V/50Hz

整機尺寸(寬*深*高)

440X490X482mm

重  量(約)

29KG


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