
SAT 1620 真空等離子(Plasma)真空等離子清洗機(jī)
- SAT 1520是一款不銹鋼方形艙體,15升大容量,兩層電極板分布,高功率(300W)、高頻率(13.56Mhz)、內(nèi)置兩路MFC、高品質(zhì)、高性價比的微小生產(chǎn)型設(shè)備,是您實驗室或者微小型生產(chǎn)的理想選擇。
產(chǎn)品詳細(xì)
SAT 1620 小型生產(chǎn)等離子清洗機(jī)(Plasma)
應(yīng)用領(lǐng)域:通用于材料科學(xué)、光學(xué)、光電子學(xué)、生命科學(xué)、電子學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、高分子科學(xué)、半導(dǎo)體、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域.
主要應(yīng)用: 1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡單刻蝕 7.去除表面有機(jī)物 8.疏水實驗 9.沉積實驗 10.形成新的基團(tuán) 11.鍍膜前處理等
主要特點:
1.實時檢測顯示真空度,使得機(jī)器在智能控制下有了可靠的依據(jù).
2.真空值可自由設(shè)定,(范圍:10—60帕)為外加氣體提供了可靠的輝光啟動環(huán)境,為輝光純度提供了有利的保障,保證了實驗效果的準(zhǔn)確性和可靠性.
3.真空腔體采用鉸鏈側(cè)開門結(jié)構(gòu),帶有觀察窗,材料為6061材質(zhì).
4.真空腔體、管路、閥體全部為不銹鋼材料.
5.電容式(CCP)激發(fā),實驗效果穩(wěn)定,均勻可靠,電極板置于樣品倉內(nèi)頂部懸掛.
6.觸摸屏+內(nèi)置計算機(jī)顯示控制,手動自動兩種模式任意切換.
7.程序化設(shè)計,預(yù)先編輯好程序,儀器自動完成實驗.
8.利用氣體電離后產(chǎn)生的等離子體的反應(yīng)活性與材料表面發(fā)生的物理或者化學(xué)反應(yīng),使材料表面成分、組成和結(jié)構(gòu)發(fā)生變化,并能得到某些特定的基團(tuán)。
9.無需任何耗材,使用成本低,無需特殊進(jìn)行維護(hù),在日常使用中保持儀器清潔即可。
技術(shù)規(guī)格參數(shù)
型號:SAT 1620 | 品牌:賽奧特(SAT) |
※不銹鋼方形腔體 | 內(nèi)部尺寸:300(深度)X230(寬)X230(高)mm ,容積約16升 |
※射頻頻率 | 13.56MHz ,配置自動匹配器 |
※射頻功率 | 最高300W,0到300W可調(diào),精度:1瓦, |
※輝光放電最低功率 | 最低輝光放電功率:10W |
輝光放電時間設(shè)定 | 1秒到99分59秒 |
氣路設(shè)置 | 三氣路(兩路進(jìn)氣,一路放空) |
※樣品托盤數(shù)量 | 兩層標(biāo)準(zhǔn)配置。 |
※放置樣品托盤有效使用尺寸 | 220(寬)X270(長)mm,材質(zhì):6061鋁氧化本色 |
※工作氣體穩(wěn)定時間 | 氣體穩(wěn)定時間:可調(diào)整,可設(shè)定,范圍:0--180秒 |
※進(jìn)氣控制 | 內(nèi)置兩路質(zhì)量流量計(MFC)控制 |
工作氣體 | 空氣氮氣氬氣氮氫混合氣氬氦混合氣等均可; |
進(jìn)氣壓力 | 空氣常壓,連接鋼瓶:0.1-0.2Mpa |
真空泵 | 可選機(jī)械油泵或者干泵 |
電 源 | ~220V/50Hz |
整機(jī)尺寸 | 615(深)ⅹ485(寬)ⅹ630(高)mm |
重 量(約) | 60KG |
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