SAT 3520 真空等離子(Plasma)生產(chǎn)型等離子清洗機
- SAT 3520是一款不銹鋼方形艙體,35升大容量,3層電極板分布,高功率(300W)、高頻率(13.56Mhz)、內(nèi)置兩路MFC、高品質(zhì)、高性價比的小型生產(chǎn)型設備,是您實驗室或者小型車間生產(chǎn)的理想選擇。
產(chǎn)品詳細
SAT 3520 小型生產(chǎn)等離子清洗機(Plasma)
應用領(lǐng)域:適用于材料科學、光學、光電子學、生命科學、電子學、生物醫(yī)學、高分子科學、半導體、微觀流體學等領(lǐng)域.
主要實驗應用:1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡單刻蝕 7.去除表面有機物 8.疏水實驗 9.沉積實驗 10.形成新的基團 11.鍍膜前處理等
主要特點:
1.PLC工控機控制整個清洗過程,全自動進行。
2.采用7寸觸摸屏操作界面,實時工作參數(shù)狀態(tài)顯示。
3.手動、自動兩種工作模式。
4.數(shù)字流量計(MFC)控制標配雙路氣體輸送系統(tǒng),可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)。
5.處理高效均勻,效率高,工藝重復性好。
6.合理的結(jié)構(gòu)設計,設備占用空間小。
7.可處理各種材質(zhì)、形狀、尺寸樣品。
8.樣品處理溫度低,無熱損傷和熱氧化。
9使用成本低、耗損小,產(chǎn)品性能穩(wěn)定,安裝與維護簡便方便,安全保護,艙門打開,自動關(guān)閉電源
技術(shù)規(guī)格參數(shù)
型號:SAT 3520 | 品牌:賽奧特(SAT) |
※不銹鋼腔體尺寸 | W320xH320xD350mm |
真空腔體容積 | 約35升 |
載物托盤有效尺寸 | 載物托盤尺寸:W308xD323mm |
電極板分布 | 標配3層(可以選裝1—3層) |
※射頻頻率 | 13.56MHz (可選40Khz,0—1000瓦電源) |
※射頻功率 | 最高300W,0到300W可調(diào),精度:1瓦, |
輝光放電時間設定 | 1秒到99分59秒 |
控制系統(tǒng) | 7寸彩色觸摸屏+PLC工控機 |
氣路設置 | 內(nèi)置兩路(MFC)控制 |
工作氣體穩(wěn)定時間 | 氣體穩(wěn)定時間:一分鐘 |
激發(fā)方式 | 電容式(CCP) |
工作氣體 | 空氣氮氣氬氣氮氫混合氣氬氦混合氣等均可 |
進氣壓力 | 空氣常壓,連接鋼瓶:0.1-0.2Mpa |
真空泵 | 抽速16m3/h |
電 源 | AC220V 50-60Hz |
整機功率 | ≤1.2KW 【≤1.9KW】 |
整機尺寸(寬*深*高) | 約L625xW600xH750mm |
重量 | 約135Kg |
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